該設(shè)備采用磁控濺射，膜層致密、細(xì)膩、硬度高、光澤好、柔性好。使用HiPIMS電源，成膜速度大幅提高。偏壓能有效提高膜層與機(jī)體的附著力，提高成膜速率和提高膜層品質(zhì)。是鍍制金屬膜、化合物膜以及各種復(fù)合膜的理想設(shè)備。采用分子泵系統(tǒng)有效防止和解決長時(shí)間工作引起的擴(kuò)散泵返油問題，更好的提高鍍膜質(zhì)量，而且節(jié)省電能；平面磁控靶帶有靶門方便靶材更換和清洗，粑面配有自動(dòng)擋板防止交叉污染和鍍前洗靶；整機(jī)操作方便可靠，可全自動(dòng)化作業(yè)生產(chǎn)，并可儲(chǔ)存修改多種生產(chǎn)工藝制程。