目前柔性透明導(dǎo)電薄膜沉積技術(shù)由于其超薄、可彎折的特性已經(jīng)在觸摸屏行業(yè)普遍推廣，柔性透明導(dǎo)電膜主要是通過(guò)卷繞鍍膜設(shè)備鍍制，柔性透明導(dǎo)電薄膜基材都是PET等柔性材料?，F(xiàn)在電子產(chǎn)品對(duì)輕、薄的要求越來(lái)越高，這就增加了卷對(duì)卷生產(chǎn)中比較薄的PET（23 μm厚度以下）平整度控制難度，故設(shè)計(jì)出一種柔性卷繞鍍膜中薄膜平整度在線(xiàn)控制的裝置。

真空卷繞磁控濺射技術(shù)特點(diǎn) ：①沉積速度快、基材溫升低、對(duì)膜層的損傷小；②濺射所獲得的薄膜與基片結(jié)合較好；③濺射所獲得的薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好；④濺射工藝可重復(fù)性好，可以在大面積基片上獲得厚度均勻的薄膜等。其工藝流程見(jiàn)圖1。



圖1 柔性導(dǎo)電膜生產(chǎn)工藝流程

從工藝生產(chǎn)流程可以看出，薄膜材料鍍膜是采用卷對(duì)卷的方式，生產(chǎn)時(shí)是連續(xù)生產(chǎn)完一卷后才會(huì)生產(chǎn)下一卷，每卷在中間生產(chǎn)出現(xiàn)問(wèn)題時(shí)無(wú)法進(jìn)行在線(xiàn)處理，這樣就造成了整卷的浪費(fèi)，因此特別是很薄的薄膜生產(chǎn)時(shí)，中間產(chǎn)生褶皺時(shí)在收卷的時(shí)候由于張力的影響會(huì)對(duì)后面沒(méi)有產(chǎn)生褶皺的產(chǎn)品產(chǎn)生杠印，對(duì)生產(chǎn)品質(zhì)和良率造成影響。因此需要進(jìn)一步改進(jìn)設(shè)計(jì)工藝。

卷繞鍍膜設(shè)備中薄膜平整度在線(xiàn)控制裝置包括平整度調(diào)節(jié)輥（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“香蕉輥”，可以看成是香蕉那種形狀）及其控制系統(tǒng)。該裝置是裝在卷繞鍍膜設(shè)備工藝室鍍膜鼓前面。卷繞鍍膜設(shè)備主要由放卷室、工藝室、收卷室組成，放卷室包含放卷裝置、傳動(dòng)輥；工藝室包含鍍膜鼓、磁控濺射陰極系統(tǒng)、傳動(dòng)輥、平整度調(diào)節(jié)輥；收卷室包含收卷裝置、傳動(dòng)輥。安裝位置示意圖如圖2所示。




圖2 卷繞鍍膜設(shè)備中的傳送輥安裝位置示意圖



圖3 展平輥工作示意圖

由上圖可以看出，原膜經(jīng)過(guò)平整度調(diào)節(jié)輥后再經(jīng)過(guò)鍍膜鼓和磁控濺射陰極系統(tǒng)，這樣就保證鍍膜時(shí)原膜是經(jīng)過(guò)平整度調(diào)節(jié)輥調(diào)整后再進(jìn)行鍍膜的，因此保證了鍍膜時(shí)的良品率；原膜在離開(kāi)鍍膜鼓時(shí)是經(jīng)過(guò)平整度調(diào)節(jié)輥后再到收卷裝置，這樣就保證了收卷整齊、平整。使用平整度在線(xiàn)控制裝置前后良率及其他數(shù)據(jù)對(duì)比見(jiàn)表1。

表1  使用平整度在線(xiàn)控制裝置前后良率及其他參數(shù)對(duì)比



柔性卷繞鍍膜采用平整度在線(xiàn)控制裝置可以直接在線(xiàn)實(shí)時(shí)對(duì)角度的控制，保證鍍膜時(shí)膜面平整、收卷整齊、平整；特別是針對(duì)PET基材厚度小于50 μm的薄膜進(jìn)行使用時(shí)，能有效地降低產(chǎn)品褶皺的產(chǎn)生，提高產(chǎn)品的良品率，目前已經(jīng)在產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)行實(shí)際使用。
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