分子泵故障：

  1、分子泵為何會發(fā)生半邊熱，半邊冷的現(xiàn)象？



  原因：附近有光照或其他熱源



  解決方法：避免光照或熱源



  2、分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑，請問油為什么發(fā)黑？或者多長時間油才會變黑？



  原因：冷卻不良，負載太大



  解決方法：檢查冷卻系統(tǒng)，檢查真空系統(tǒng)



  3、分子泵在運轉過程中，出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復到正常，反反復復，更換電源后現(xiàn)象仍如此，請問該現(xiàn)象如何解釋？



  原因：負載太大，系統(tǒng)真空度不夠



  解決方法：檢查系統(tǒng)



  4、分子泵軸承為什么會燒毀



  原因：①缺乏定期維護②冷卻不良導致過熱③沒有及時換油④抽除的氣體中含有大量粉塵



  解決方法：①及時維護②檢查冷卻系③及時換油④隔離粉塵



  5、有防護網保護，為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內？



  原因：防護網破裂，前級管道破裂



  解決方法：優(yōu)化系統(tǒng)設計



  6、真空度很好的情況下，分子泵油為何會返到前級管道？



  原因：油池破裂或密封不良



  解決方法：檢查油池



  7、正常使用下，為什么分子泵油池會出現(xiàn)裂紋或者變形



  原因：過熱，負載大



  解決措施：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng)



  8、分子泵中經常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w，如M5的頂絲等，請問是否對分子泵的使用有影響？應如何解決？



  原因：應是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。



  解決方式：應是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。



  9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗，使用才安全？



  答：不作特殊限定，至少3個，按照法蘭大小可選3、6、12、24等



  10、變頻器電源在什么情況下會造成程序丟失或者錯亂？



  答：①電壓不穩(wěn)②強干擾③高壓打火④認為



  11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格標準，是多少？



  答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要特定儀器和特定的測試環(huán)境



  12、分子泵是否對冷卻有明確要求？如風冷需要外界溫度是多少？如水冷則對水有何具體要求？如未達到要求會出現(xiàn)何后果？



  答：注意水溫和水流量，冷卻不良會導致無故停機、碎泵、油變黑等。



  13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問題，應如何做才是較好方式？



  答：電源本身有接地線，只需要保證市網有良好接地就可以了；屏蔽主要是指對強磁場和強輻射的屏蔽。



  14、變頻器電源，轉速上升過程中就自動關機，即顯示“Poff”？



  答：原因：電壓低



  15、分子泵葉片破碎的原因：



  答：造成分子泵轉子、靜子打碎的原因比較多，歸納起來主要是以下幾點：



  ①、誤操作;比如突然的破真空，因為轉子與靜子葉片之間的空隙非常的小，如果葉片的材質比較薄或者比較軟，突然的空氣阻力會造成葉片變形，這樣可能會造成轉子靜子之間的摩擦，導致打碎。



  ②、是異物掉入;沒有安裝過濾網使肯定不行的，另外掉進去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。所以現(xiàn)在的設備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側面90度或倒立安裝，避免異物掉入。



  ③、電壓的不穩(wěn)定，特別對磁浮類的分子泵損傷較大。



  ④、前級泵的效率差;我們知道腔體內的大部分氣體首先是通過前級泵抽出，真空達到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差，分子泵就會比較吃力，啟動速度慢，抽氣時間長，電流高，分子泵溫度升高等。



  ⑤、、分子泵保養(yǎng)時的動平衡沒有做好，這是技術的關鍵，動平衡差，振動就大，抽氣效率就差，也容易造成軸承部分的過度磨損。



  ⑥、軸承部分沒有使用原廠的標準軸承，效果和尺寸不標準等。

  分子泵使用過程出現(xiàn)的問題
總體安裝注意事項



  ①、安裝前應檢查分子泵運輸中是否被損壞。



  ②、打開泵高真空端法蘭蓋板，戴好手套，撥動渦輪轉子，應轉動靈活，無異?，F(xiàn)象。



  ③、安裝環(huán)境應符合技術要求和真空衛(wèi)生要求。



  ④、確認防護網已安裝，特殊情況下定做特殊防護網。



  ⑤、確認已裝入潤滑油。



  ⑥、安裝方向：油繩潤滑：豎直、水平；



   油潤滑：豎直方向±5°范圍內；



   脂潤滑：任意角度

2油池安裝注意事項
  ①、拆下注油



  ②、油量控制



  ③、油池衛(wèi)生，防顆粒



  ④、對好、對稱上緊螺釘，防止有漏

3進出口法蘭、冷卻水安裝





  ①、泵入口：對正、對稱擰緊



  ②、泵出口：防止錯位



  ③、冷卻水：無漏水；入口水壓0.2MPa；水溫20±５℃；水質澄清無沉淀



  注意：

環(huán)境溫度：風冷需小于32℃;水冷可至40℃



  入口壓強：強制風冷<0.1Pa;自然風冷<0.01Pa

4三、電纜安裝注意事項





  ①、對正槽口插入



  ②、用螺母擰緊，邊插邊擰



  ③、檢查到位

5振動隔離、沖擊防護



  1分子泵振動極小，可直接接于被抽系統(tǒng)。



  對于高精密儀器的應用（如電子顯微鏡），建議使用隔振器，以便盡可能的減少振動。



  2沖擊防護：高速旋轉、間隙很小、柔性支撐



  機械振動（預抽泵、前級泵、機械動作等）

  氣體振動（氣量突變、壓強突變）

  意外振動（掉入異物、碰撞等）



  注意：沒有對泵進行必要防護，容易造成分子泵嚴重的破壞、甚至碎泵。

6大氣載、熱氣體、突變氣載



  a 引起問題：溫度升高；動靜片變形；轉子上移；潤滑失效5℃原則；軸承失效



  b. 措施：加大水冷；增加冷卻裝置；縮短換油時間

7磁場屏蔽出現(xiàn)的問題



  旋轉的轉子在磁場中產生渦電流，將使轉子發(fā)熱，將產生如下問題：



  ①、轉子與定子間隙越來越小，造成碎片；



  ②、轉子溫升過大造成磁性電機轉子退磁；



  ③、由于發(fā)熱會減弱鋁材料的強度，造成碎泵；



  ④、轉子發(fā)熱，改變轉子和軸的相對位置，造成碎泵。



  分子泵在磁場中運轉時，徑向和軸向磁場強度均不得大于30Gs。原則上，大于30Gs應使用導磁材料屏蔽。

8分子泵啟動的條件：


  ①、啟動條件：連接無誤、無漏、冷卻、潤滑、真空度



  ②、啟動時間：



  同時啟動——小系統(tǒng)，防前級泵油上返。



  延遲啟動——系統(tǒng)容積過大,先啟動前級泵，至系統(tǒng)壓強P=200Pa時，啟動分子泵。
分子泵故障：

  
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