前幾天芯片愛國潮里，被揪出來的國產(chǎn)鍍膜設(shè)備依賴進(jìn)口的問題，一度也是沸沸揚(yáng)揚(yáng)。日本的一家只有300多人的小公司 Canon Tokki，因在OLED鍍膜領(lǐng)域擁有明顯的技術(shù)優(yōu)勢而躍入人們的視野。作為鍍膜行業(yè)從業(yè)十幾年的一個普通技術(shù)業(yè)者，在看了連基本概念都弄錯了的新聞報道之后，雖然很想一笑置之，但仔細(xì)想了想之后，也不禁汗毛直豎，國產(chǎn)鍍膜設(shè)備到底還是差的遠(yuǎn)了點(diǎn)。

那么國產(chǎn)鍍膜設(shè)備差在哪呢？聽我嘗試說一下。
一，鍍膜設(shè)備的分類
這個問題如果在十年之前，其實是很容易回答的，就是兩個大類，物理沉積設(shè)備和化學(xué)沉積設(shè)備?，F(xiàn)在這樣回答也是沒錯的，但現(xiàn)在再這樣回答就沒辦法把事情說清楚了，所以我想從應(yīng)用領(lǐng)域上分成以下幾類：
1.傳統(tǒng)光學(xué)器件（鏡片，濾光片）所用的鍍膜設(shè)備：單腔體或多腔體蒸發(fā)式鍍膜設(shè)備，濺射式鍍膜設(shè)備。

2.新材料領(lǐng)域的柔性設(shè)備：卷對卷柔性鍍膜設(shè)備。

3.光通訊行業(yè)：離子束濺射鍍膜設(shè)備。

4.半導(dǎo)體及相似工藝：化學(xué)氣相沉積設(shè)備。

5.功能膜：多弧離子鍍設(shè)備，濺射設(shè)備，蒸發(fā)設(shè)備

6.玻璃工藝：濺射式連續(xù)線

7.其余的就得歸到“工藝定制設(shè)備”這個范圍里面了，例如車燈鍍膜設(shè)備，太陽能的共蒸發(fā)設(shè)備，光纖鍍膜設(shè)備，太陽能管設(shè)備等等

二，上述設(shè)備有哪些能夠國產(chǎn)，哪些依賴進(jìn)口
簡單的解釋就是，產(chǎn)出利潤低的，能夠國產(chǎn)，高附加值的，都依賴進(jìn)口。
大體說說：
傳統(tǒng)光學(xué)鏡片濾光片，在國內(nèi)產(chǎn)業(yè)化的時間大約開始于1995年左右，當(dāng)時日本的許多公司進(jìn)入中國建立工廠，例如佳能，尼康，奧林巴斯。這些公司帶來的不僅是本公司的產(chǎn)品輸出，也帶來了整個產(chǎn)業(yè)鏈向中國擴(kuò)散。當(dāng)時鏡片鍍膜設(shè)備在中國超過10臺的公司只有幾家，設(shè)備幾乎全部都是日本的shincron，昭和兩個品牌。再過幾年，德國的萊寶光學(xué)也進(jìn)入中國市場，并且一出手就是直接搶占了較為前列的濾光片和光通訊市場。而這個時候國產(chǎn)設(shè)備號稱：北有“北儀”，南有“南光”，如果在2005年左右對比國內(nèi)設(shè)備和國外設(shè)備的差異，我認(rèn)為2005年產(chǎn)的日本shincron設(shè)備，至今2018年能夠甩國產(chǎn)設(shè)備至少10年。至于甩在哪里，我下一部分詳細(xì)說。
光通訊行業(yè)，現(xiàn)在還沒聽說過哪家國產(chǎn)設(shè)備能夠成功量產(chǎn)100g頻率帶寬的波分復(fù)用濾光片。
卷繞設(shè)備，至今還沒有哪家國產(chǎn)設(shè)備商能夠產(chǎn)出寬幅1.6米以上，同時開12個濺射靶的設(shè)備。
半導(dǎo)體行業(yè)，各位可曾聽說國產(chǎn)設(shè)備商參與競標(biāo)？
但愿我的評論區(qū)不會出現(xiàn)：“喂，你懂不懂鍍膜的，我們廠的裝飾膜設(shè)備都是國產(chǎn)的啊”，抱歉，低利潤產(chǎn)業(yè)不在我這次要說的范圍之內(nèi)。
三，拆開來說，鍍膜設(shè)備哪些零件無法實現(xiàn)超越
其實現(xiàn)在才開始說痛點(diǎn)。。。
鍍膜設(shè)備就像其他很多精密設(shè)備一樣，不僅是一個“機(jī)器”，它更像一個類似生態(tài)系統(tǒng)的復(fù)雜機(jī)構(gòu)，大體來分可以分成幾個部分：
真空形成系統(tǒng)

發(fā)射源和沉積系統(tǒng)

沉積環(huán)境控制系統(tǒng)

監(jiān)控系統(tǒng)

傳動機(jī)構(gòu)系統(tǒng)

當(dāng)然不同的設(shè)備對這些部分的劃分都是不同的，但多數(shù)都逃不出這樣的劃分體系。
真空形成系統(tǒng)：先說泵，德國萊寶，英國愛德華，日本ULVAC，美國brooks，日本丸山真空，日本大阪真空，至少占了整個市場的7成份額，到今年為止，我還沒看到哪怕一臺被認(rèn)為中檔設(shè)備上使用中國品牌的真空泵。這些真空泵包含機(jī)械式旋片泵，滑閥泵，羅茨泵，分子泵，冷泵。比較好的是擴(kuò)散泵，這幾年看到中國制造的了，但相對來說技術(shù)含量較低。
發(fā)射源和沉積系統(tǒng)：熱蒸發(fā)系統(tǒng)制作簡單，國產(chǎn)一直有能力制作。但是普遍使用的電子系統(tǒng)，至2014年還都是依賴進(jìn)口的，這幾年看到了一些國產(chǎn)品牌，使用效果評論不一。濺射式鍍膜設(shè)備使用的DC或者M(jìn)F,RF電源，國產(chǎn)的只適用于裝飾膜或功能膜產(chǎn)業(yè)，只要是光學(xué)膜產(chǎn)業(yè)，基本上濺射電源都還是進(jìn)口的，主要市場被德國AE和德國霍廷格所占據(jù)。離子束濺射所需的RF離子源，目前嚴(yán)重依賴進(jìn)口，美國plasma process group的RF源系統(tǒng)比較常見，國產(chǎn)的是一個都無，就連RF源上用的三層珊網(wǎng)都要依賴進(jìn)口，16cm的每套接近十萬元，而這個東西，還是個消耗品。
沉積環(huán)境控制系統(tǒng)：先說mass flow controller質(zhì)量流量控制器，目前比較前列的產(chǎn)品就是英國的MKS，荷蘭的bronkhorst，中端的有泰朗，brooks，泰利德，毫無疑問也是進(jìn)口產(chǎn)品。國產(chǎn)的能夠在比較低端的設(shè)備上用用也算是進(jìn)步了。再說真空計，作為真空系統(tǒng)必須要有的測量設(shè)備，德國inficon 英國愛德華 日本ULVAC幾乎壟斷了中國市場，國產(chǎn)的各位上某寶或者阿里的網(wǎng)頁上看看樣子（都不用看參數(shù)）就自然了解了。氣體分析儀，英國MKS，美國斯坦福，德國zirox，國產(chǎn)的沒有。
監(jiān)控系統(tǒng)：這個更痛，說起來監(jiān)控系統(tǒng)是這個設(shè)備的靈魂，用比較簡單的話說，鍍膜設(shè)備是個湯鍋，你放了多少鹽，自己可以嘗一嘗，不夠就加。而鍍膜設(shè)備里面，確認(rèn)膜厚的監(jiān)控設(shè)備精度就決定了這個設(shè)備的精度。例如光控系統(tǒng)，它可以直接測量鍍膜膜層厚度，現(xiàn)在國產(chǎn)設(shè)備的控制方式是晶控（晶控儀還多數(shù)是進(jìn)口的），只有進(jìn)口的前列設(shè)備才配光控，這就跟睜著眼睛下棋和蒙上眼睛下棋之間的差異。目前光控系統(tǒng)（可見光區(qū)域）比較成熟的，德國zeiss，日本的朝日有一套系統(tǒng)，剩下的還有shincron和光馳都有自己品牌的光控，這幾年中國臺灣設(shè)備也開發(fā)了這個系統(tǒng)并且投入量產(chǎn)。國產(chǎn)光控系統(tǒng)有么？有的。但是其可靠性實在太差了。激光光控系統(tǒng)方面，主要還是光通訊設(shè)備上用的，一般是美國vecoo產(chǎn)，近一兩年也聽說了國產(chǎn)開發(fā)的系統(tǒng)，但是其主要配件（激光器和光功率計）還是美國進(jìn)口的。
傳動機(jī)構(gòu)：這個還好，國產(chǎn)夠用了，以前的磁流體密封件都是進(jìn)口的，近幾年有國產(chǎn)的了，已經(jīng)投入量產(chǎn)。

三，痛的點(diǎn)，是國產(chǎn)設(shè)備系統(tǒng)的整合。
上面也說了，基本上所有的前列設(shè)備主要組件都是依賴進(jìn)口的，那么換句話說，我從外國買東西，回來自己組裝不行么，我一樣可以擁有一家品質(zhì)高的設(shè)備制造企業(yè)呀。事實上是，真的不行。鍍膜設(shè)備系統(tǒng)的構(gòu)架，表面看上去就是一個自動化問題，PLC控制各個組件，加一個工控電腦做圖形化界面就可以了。但是，鍍膜是一個門檻比較高的行業(yè)，這個門檻實際上體現(xiàn)在基礎(chǔ)工程師的技能水平，一個好的工程師，使用手動設(shè)備能做出來的產(chǎn)品有時候比一個差的工程師使用自動設(shè)備做出來的還要好一些，所以設(shè)計制造鍍膜設(shè)備系統(tǒng)的人，對鍍膜理解的程度決定了這個設(shè)備的設(shè)計框架的先進(jìn)性，而現(xiàn)實是國內(nèi)生產(chǎn)鍍膜設(shè)備的企業(yè)，根本不重視工藝開發(fā)，我所見到的國產(chǎn)設(shè)備商，例如成都某某南光，蘇州某某光電，肇慶某某科技，主要技術(shù)人員就是3,4人，一個負(fù)責(zé)機(jī)械設(shè)計，一個負(fù)責(zé)電路設(shè)計，一個負(fù)責(zé)自動化，一個負(fù)責(zé)工藝調(diào)試，簡單一句話講，就是技術(shù)人員整合的平臺厚度不足，會自動化設(shè)計的不懂鍍膜，會鍍膜的不懂設(shè)備制造。所以做出來的東西，要么是100%仿制進(jìn)口設(shè)備，要么就是做出來的系統(tǒng)不倫不類不好用。
這還不是全部，作為主要控制系統(tǒng)的光控，進(jìn)口的光控系統(tǒng)是要依托一些光學(xué)原理算法進(jìn)行控制的，而自動化方面的設(shè)計人員對這些根本不懂。我有一位業(yè)內(nèi)的朋友告訴我，如果有人能夠把光控系統(tǒng)整合在設(shè)備制造中穩(wěn)定的運(yùn)行，不管是二手設(shè)備翻新還是一手設(shè)備制造，這在現(xiàn)在的中國，都是具有技術(shù)優(yōu)勢的，能創(chuàng)造很大的利潤。
上面說的是問題和難度，但是痛是痛在哪里呢？我個人的觀點(diǎn)是，作為整個行業(yè)從業(yè)人員的一份子，我痛在發(fā)展方向不明，無法觸及世界前列鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，只能拾人牙慧。整個行業(yè)痛在，產(chǎn)學(xué)研根本不成體系，大學(xué)里面的理論高手老師教授們，非常少接觸行業(yè)實際運(yùn)用和制造，做出來的東西要么只是為了發(fā)論文，要么是為了忽悠經(jīng)費(fèi)，就憑實驗室那些設(shè)備，真心沒看到能搞出來什么好東西。而產(chǎn)業(yè)上，首先愿意投資研發(fā)的公司太少，其次即使投資研發(fā)，行業(yè)深度太淺導(dǎo)致研發(fā)突破太難，多數(shù)都還是跟在美日德公司產(chǎn)品后面仿制產(chǎn)品，而對方也看到了咱們?nèi)松靛X多，故意誘導(dǎo)整個產(chǎn)業(yè)往低利潤的量產(chǎn)型設(shè)備上投資。例如美國的應(yīng)用材料公司，近十年在中國可以說賺的盆滿缽滿。
綜上所述，國產(chǎn)鍍膜設(shè)備不是比不上進(jìn)口鍍膜設(shè)備，而是根本沒資格和人家比。中國的鍍膜產(chǎn)業(yè)，承接的是發(fā)達(dá)國家不要的低利潤產(chǎn)業(yè)，尚未能取得突破。要想在國產(chǎn)鍍膜設(shè)備和國產(chǎn)鍍膜產(chǎn)業(yè)上有所突破，就目前看來短時間內(nèi)還是沒什么希望的，但是近十年左右，外資企業(yè)的技術(shù)擴(kuò)散相當(dāng)程度上起了積極的作用。等到投資方能有耐心又有整合能力的時候，等到國內(nèi)中堅人才厚度達(dá)到一定程度之后，等到學(xué)校的教授們能真正拿出來可以展示的產(chǎn)品而非論文的時候，中國鍍膜行業(yè)也就離起飛不遠(yuǎn)！
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